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書誌情報サマリ

タイトル

ビジュアル真空技術

人名 平谷 雄二／著
人名ヨミ ヒラタニ ユウジ
出版者・発行者 コロナ社
出版年月 2001.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル ビジュアル真空技術
タイトルヨミ ビジュアル シンクウ ギジュツ
人名 平谷 雄二／著
人名ヨミ ヒラタニ ユウジ
出版者・発行者 コロナ社
出版者・発行者等ヨミ コロナシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2001.10
ページ数または枚数・巻数 193p
大きさ 21cm
価格 ￥２７００
ISBN 4-339-00736-6
分類記号 534.93
件名 真空技術
内容紹介 真空装置を使って結晶成長、薄膜を形成する研究室や職場に新しく配属された人を対象にした書。真空装置の心臓部のポンプと感覚器官にあたる真空計について述べる。真空技術でよく使われる式を導出し、適宜演習問題を付す。
著者紹介 東北大学大学院工学研究科博士課程修了(電子工学専攻)。古河電気工業(株)入社、現在に至る。東北大学工学博士。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810295377



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