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書誌情報サマリ

タイトル

半導体真空技術

人名 宇津木 勝／著
人名ヨミ ウツギ マサル
出版者・発行者 東京電機大学出版局
出版年月 2011.5

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 半導体真空技術
サブタイトル ポイント解説
タイトルヨミ ハンドウタイ シンクウ ギジュツ
サブタイトルヨミ ポイント カイセツ
人名 宇津木 勝／著
人名ヨミ ウツギ マサル
出版者・発行者 東京電機大学出版局
出版者・発行者等ヨミ トウキョウ デンキ ダイガク シュッパンキョク
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2011.5
ページ数または枚数・巻数 219p
大きさ 22cm
価格 ￥２５００
ISBN 978-4-501-41890-8
ISBN 4-501-41890-8
注記 「半導体のための真空技術入門」(工業調査会 2007年刊)の改題
注記 文献:p213
分類記号 549.8
件名 半導体 ／ 真空技術
内容紹介 できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。用語の語源や由来の説明、計算の課程も提示。後半では、真空を応用した各種プロセスも詳述する。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811432756



目次


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