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1 0007957632図書一般549.8/ｳﾂ07/2F自然貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

半導体のための真空技術入門

人名 宇津木 勝／著
人名ヨミ ウツギ マサル
出版者・発行者 工業調査会
出版年月 2007.2

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 半導体のための真空技術入門
サブタイトル 現場で役立つ基礎と応用
タイトルヨミ ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン
サブタイトルヨミ ゲンバ デ ヤクダツ キソ ト オウヨウ
人名 宇津木 勝／著
人名ヨミ ウツギ マサル
出版者・発行者 工業調査会
出版者・発行者等ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2007.2
ページ数または枚数・巻数 219p
大きさ 21cm
価格 ￥２３００
ISBN 978-4-7693-1262-8
ISBN 4-7693-1262-8
注記 文献:p213
分類記号 549.8
件名 半導体 ／ 真空技術
内容紹介 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
著者紹介 1954年生まれ。アプライドマテリアルジャパン(株)勤務等を経て、(有)寺子屋みほ設立、取締役就任。半導体関連の技術教育およびコンサルタント業務を行う。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810940909



目次


内容細目

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