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1 0004750592図書一般534.93/アル02/書庫貸出可 

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書誌情報サマリ

タイトル

真空ハンドブック

人名 アルバック/編
人名ヨミ アルバック
出版者・発行者 オーム社
出版年月 2002.7


書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 真空ハンドブック
タイトルヨミ シンクウ ハンドブック
人名 アルバック/編
人名ヨミ アルバック
版次 新版
出版者・発行者 オーム社
出版者・発行者等ヨミ オームシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2002.7
ページ数または枚数・巻数 331p
大きさ 27cm
価格 ¥9500
ISBN 4-274-08727-1
注記 付:表(4枚)
分類記号 534.93
件名 真空技術-便覧
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810381698



目次


内容細目

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