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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0015109804 | 図書一般 | 549.8/サト19/ | 2F自然 | 貸出中 |
× |
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書誌情報サマリ
タイトル |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
|
人名 |
佐藤 淳一/著
|
人名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者・発行者 |
秀和システム
|
出版年月 |
2019.12 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
サブタイトル |
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する/製造技術の神髄 |
シリーズ名 |
図解入門 |
副シリーズ名 |
How‐nual |
シリーズ名 |
Visual Guide Book |
タイトルヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
サブタイトルヨミ |
ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル/セイゾウ ギジュツ ノ シンズイ |
シリーズ名ヨミ |
ズカイ ニュウモン |
副シリーズ名ヨミ |
ハウニュアル |
シリーズ名ヨミ |
ヴィジュアル ガイドブック |
人名 |
佐藤 淳一/著
|
人名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
版次 |
第3版 |
出版者・発行者 |
秀和システム
|
出版者・発行者等ヨミ |
シュウワ システム |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2019.12 |
ページ数または枚数・巻数 |
261p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥2000 |
ISBN |
978-4-7980-6037-8 |
ISBN |
4-7980-6037-8 |
注記 |
文献:p261 |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
半導体
|
内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
言語区分 |
JPN |
タイトルコード |
1009812362806 |
目次
内容細目
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