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書誌情報サマリ

タイトル

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み

人名 佐藤 淳一／著
人名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者・発行者 秀和システム
出版年月 2019.12

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
サブタイトル ファブから検査まで製造装置を俯瞰する／製造技術の神髄
シリーズ名 図解入門
副シリーズ名 How‐nual
シリーズ名 Visual Guide Book
タイトルヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
サブタイトルヨミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル／セイゾウ ギジュツ ノ シンズイ
シリーズ名ヨミ ズカイ ニュウモン
副シリーズ名ヨミ ハウニュアル
シリーズ名ヨミ ヴィジュアル ガイドブック
人名 佐藤 淳一／著
人名ヨミ サトウ ジュンイチ
版次 第3版
出版者・発行者 秀和システム
出版者・発行者等ヨミ シュウワ システム
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2019.12
ページ数または枚数・巻数 261p
大きさ 21cm
価格 ￥２０００
ISBN 978-4-7980-6037-8
ISBN 4-7980-6037-8
注記 文献:p261
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009812362806



目次


内容細目

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