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書誌情報サマリ

タイトル

クリーンルームにおける化学安全ハンドブック

人名 日本空気清浄協会／編
人名ヨミ ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ
出版者・発行者 テクネット
出版年月 1991.11

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル クリーンルームにおける化学安全ハンドブック
タイトルヨミ クリーン ルーム ニ オケル カガク アンゼン ハンドブック
人名 日本空気清浄協会／編
人名ヨミ ニホン クウキ セイジョウ キョウカイ
出版者・発行者 テクネット ／ 丸善(発売)
出版者・発行者等ヨミ テクネット／マルゼン
出版地・発行地 東京／東京
出版・発行年月 1991.11
ページ数または枚数・巻数 375p
大きさ 27cm
価格 ￥２４２７２
ISBN 4-924801-06-2
分類記号 509.8
件名 安全管理 ／ 半導体 ／ クリーンルーム
内容紹介 半導体基板製造工程など各工程に用いられ、工程から発生する化学物質についてその特性と危険性、生体影響及び化学物質の自動連続測定法、衛生管理・防災管理、気相・液相における化学物質除去装置等、クリーンルームにおける化学物質取扱い安全指針の解説書。
言語区分 jpn
タイトルコード 1005010160646



目次


内容細目

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509.8　509.8
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