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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0009727496 | 図書一般 | 549.8/サト10/ | 書庫 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
|
人名 |
佐藤 淳一/著
|
人名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者・発行者 |
秀和システム
|
出版年月 |
2010.5 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
サブタイトル |
製造装置の全体を俯瞰する/技術力の真髄 |
シリーズ名 |
図解入門 |
副シリーズ名 |
How‐nual |
シリーズ名 |
Visual Guide Book |
タイトルヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
サブタイトルヨミ |
セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル/ギジュツリョク ノ シンズイ |
シリーズ名ヨミ |
ズカイ ニュウモン |
副シリーズ名ヨミ |
ハウニュアル |
シリーズ名ヨミ |
ヴィジュアル ガイドブック |
人名 |
佐藤 淳一/著
|
人名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者・発行者 |
秀和システム
|
出版者・発行者等ヨミ |
シュウワ システム |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2010.5 |
ページ数または枚数・巻数 |
231p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥1800 |
ISBN |
978-4-7980-2610-7 |
ISBN |
4-7980-2610-7 |
分類記号 |
549.8
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件名 |
半導体
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内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009811302906 |
目次
内容細目
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