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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0012974952 | 図書一般 | 549.8/コシ15/ | 2F自然 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
現場のスパッタリング薄膜Q&A
|
人名 |
小島 啓安/著
|
人名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
出版者・発行者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2015.2 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
現場のスパッタリング薄膜Q&A |
サブタイトル |
反応性高速スパッタの実務アドバイス |
タイトルヨミ |
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー |
サブタイトルヨミ |
ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス |
人名 |
小島 啓安/著
|
人名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
版次 |
第2版 |
出版者・発行者 |
日刊工業新聞社
|
出版者・発行者等ヨミ |
ニッカン コウギョウ シンブンシャ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2015.2 |
ページ数または枚数・巻数 |
9,437p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥3300 |
ISBN |
978-4-526-07366-3 |
ISBN |
4-526-07366-3 |
注記 |
文献:p425〜434 |
分類記号 |
549.8
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件名 |
薄膜
/
真空技術
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内容紹介 |
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。現場で遭遇する疑問を、スパッタリングプロセスの第一人者が、Q&A形式でわかりやすく解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。 |
著者紹介 |
東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。名古屋大学より学位取得。同大学客員教授。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。 |
言語区分 |
JPN |
タイトルコード |
1009811876457 |
目次
内容細目
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