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1 0007431547図書一般549.8/ｱｻ06/書庫貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

薄膜作成の基礎

人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.7

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 薄膜作成の基礎
タイトルヨミ ハクマク サクセイ ノ キソ
人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
版次 第4版
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2005.7
ページ数または枚数・巻数 13,352p
大きさ 21cm
価格 ￥３８００
ISBN 4-526-05503-4
分類記号 549.8
件名 薄膜 ／ 真空技術
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。現在東京理科大学工学部教授。著書に「真空のはなし」「超微細加工の基礎」など。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810771599



目次


内容細目

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