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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0006664379 | 図書一般 | 549.7/イト05/ | 書庫 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
レジスト材料
|
人名 |
伊藤 洋/著
|
人名ヨミ |
イトウ ヒロシ |
出版者・発行者 |
共立出版
|
出版年月 |
2005.2 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
レジスト材料 |
シリーズ名 |
高分子先端材料One Point |
シリーズ番号 |
10 |
タイトルヨミ |
レジスト ザイリョウ |
シリーズ名ヨミ |
コウブンシ センタン ザイリョウ ワン ポイント |
シリーズ番号ヨミ |
10 |
人名 |
伊藤 洋/著
|
人名ヨミ |
イトウ ヒロシ |
出版者・発行者 |
共立出版
|
出版者・発行者等ヨミ |
キョウリツ シュッパン |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2005.2 |
ページ数または枚数・巻数 |
4,104p |
大きさ |
19cm |
価格 |
¥1400 |
ISBN |
4-320-04372-3 |
分類記号 |
549.7
|
件名 |
リソグラフィー
/
感光性樹脂
|
内容紹介 |
高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。 |
著者紹介 |
東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009810718202 |
目次
内容細目
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