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書誌情報サマリ

タイトル

超精密洗浄技術の開発

人名 角田 光雄／監修
人名ヨミ ツノダ テルオ
出版者・発行者 シーエムシー
出版年月 2000.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 超精密洗浄技術の開発
シリーズ名 CMC books
タイトルヨミ チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
シリーズ名ヨミ シーエムシー ブックス
人名 角田 光雄／監修
人名ヨミ ツノダ テルオ
版 普及版
出版者・発行者 シーエムシー
出版者・発行者等ヨミ シーエムシー
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2000.9
ページ数または枚数・巻数 247p
大きさ 21cm
価格 ￥３２００
ISBN 4-88231-083-X
注記 初版の書名:超精密洗浄技術
分類記号 576.5
件名 洗浄法
内容紹介 精密洗浄と超精密洗浄に関し、定義・メカニズム・評価から様々な洗浄システムの解説及び有機溶剤系・水系・アルコール系などの洗浄剤の動向等を詳述。92年刊「超精密洗浄技術」の普及版。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810199394



目次


内容細目

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