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書誌情報サマリ

タイトル

MEMSのはなし

人名 前田 龍太郎／編著
人名ヨミ マエダ リュウタロウ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル MEMSのはなし
シリーズ名 Science and technology
タイトルヨミ メムス ノ ハナシ
シリーズ名ヨミ サイエンス アンド テクノロジー
人名 前田 龍太郎／編著 　 池原 毅／著 　 小林 健／著 　 単 学伝／著
人名ヨミ マエダ リュウタロウ　イケハラ ツヨシ　コバヤシ タケシ　タン ガクデン
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2005.1
ページ数または枚数・巻数 6,126p
大きさ 19cm
価格 ￥１４００
ISBN 4-526-05404-6
分類記号 530
件名 マイクロマシン
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810714438



目次


内容細目

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