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書誌情報サマリ

タイトル

ULSIデバイス・プロセス技術

人名 伊藤 隆司／編著
人名ヨミ イトウ タカシ
出版者・発行者 電子情報通信学会
出版年月 2013.5

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル ULSIデバイス・プロセス技術
並列タイトル Device and Process Technologies for Ultra Large Scale Integration
タイトルヨミ ユーエルエスアイ デバイス プロセス ギジュツ
人名 伊藤 隆司／編著 　 菅野 卓雄／監修 　 電子情報通信学会／編
人名ヨミ イトウ タカシ　スガノ タクオ　デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
版次 新版
出版者・発行者 電子情報通信学会
出版者・発行者等ヨミ デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2013.5
ページ数または枚数・巻数 7,357p
大きさ 22cm
価格 ￥５６００
ISBN 978-4-88552-274-1
ISBN 4-88552-274-1
注記 文献:章末
分類記号 549.7
件名 集積回路
内容紹介 ULSIデバイスの基本であるMOSとバイポーラトランジスタの基礎から、ULSIデバイス構造、プロセス要素技術、信頼性評価技術までを一望できるよう構成。デバイスの発展と、将来の展開を考慮し、全面的に改定した新版。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811670381



目次


内容細目

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