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1 0010977288図書一般549.7/ｵｶ11/2F自然貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

はじめての半導体リソグラフィ技術

人名 岡崎 信次／著
人名ヨミ オカザキ シンジ
出版者・発行者 技術評論社
出版年月 2012.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術
シリーズ名 現場の即戦力
タイトルヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
シリーズ名ヨミ ゲンバ ノ ソクセンリョク
人名 岡崎 信次／著 　 鈴木 章義／著 　 上野 巧／著
人名ヨミ オカザキ シンジ　スズキ アキヨシ　ウエノ タクミ
出版者・発行者 技術評論社
出版者・発行者等ヨミ ギジュツ ヒョウロンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2012.1
ページ数または枚数・巻数 10,301p
大きさ 21cm
価格 ￥２５８０
ISBN 978-4-7741-4939-4
ISBN 4-7741-4939-4
注記 工業調査会 2003年刊の改訂
分類記号 549.7
件名 リソグラフィー ／ 半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
著者紹介 (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811496496



目次


内容細目

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549.7　549.7
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