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書誌情報サマリ

タイトル

マイクロ・ナノ領域の超精密技術

人名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会／編
人名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版者・発行者 オーム社
出版年月 2011.3

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル マイクロ・ナノ領域の超精密技術
タイトルヨミ マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
人名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会／編
人名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版者・発行者 オーム社
出版者・発行者等ヨミ オームシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2011.3
ページ数または枚数・巻数 9,374p
大きさ 22cm
価格 ￥５５００
ISBN 978-4-274-21005-1
ISBN 4-274-21005-1
注記 文献:章末
分類記号 532
件名 機械工作 ／ ナノテクノロジー
内容紹介 超精密微細加工技術から、デバイス創成技術、洗浄技術、表面形状評価、マイクロ・ナノレベルの材料評価技術まで、マイクロ・ナノ領域の超精密技術について紹介する。表面粗さ評価法、硬さ評価法も掲載。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811409296



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