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No.	資料番号	資料種別	請求記号	配架場所	状態	貸出
1	0010008647	図書一般	427.6/ｺｺ10/	2F自然	貸出可	○

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書誌情報サマリ

タイトル	プラズマ工学
人名	小越澄雄／著
人名ヨミ	コゴシスミオ
出版者・発行者	電気書院
出版年月	2010.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書
タイトル	プラズマ工学
タイトルヨミ	プラズマコウガク
人名	小越澄雄／著
人名ヨミ	コゴシスミオ
出版者・発行者	電気書院
出版者・発行者等ヨミ	デンキショイン
出版地・発行地	東京
出版・発行年月	2010.9
ページ数または枚数・巻数	168p
大きさ	21cm
価格	￥２４００
ISBN	978-4-485-30212-5
ISBN	4-485-30212-5
注記	文献:p161〜164
分類記号	427.6
件名	プラズマ物理学
内容紹介	プラズマの定義から発生・維持、基本的な性質、拡散と密度分布、プラズマ発生装置、プラズマパラメータの計測法、超粒子シミュレーションまでを解説。章末に練習問題を付す。
言語区分	jpn
タイトルコード	1009811336479
目次	第1章プラズマとは
	l.1 プラズマ研究の歴史／1.2 プラズマの定義／1.3 プラズマの応用例／l.4 本書の構成／練習問題
	第2章プラズマの発生・維持
	2.1 放電開始／2.2 各種放電プラズマ／練習問題
	第3章プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
	3.1 マクスウェルの方程式とプラズマの特性／3.2 流体方程式とプラズマの導電率／練習問題
	第4章プラズマ内の波
	4.1 波の分散関係の求め方／4.2 プラズマを記述する方程式の線形化／4.3 電子プラズマ波とイオン音波／練習問題
	第5章拡散とプラズマ密度分布
	5.1 拡散係数／5.2 拡散方程式と定常状態での密度分布／5.3 密度分布の時間変化／練習問題
	第6章プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
	6.1 電子温度と密度の推定／6.2 容量結合形プラズマ源／練習問題
	第7章誘導結合形プラズマ源
	7.1 誘導結合形プラズマ源／7.2 アンテナが容器上面に存在する誘導結合形プラズマ源／練習問題
	第8章電磁波を用いた高密度プラズマ源
	8.1 TM波用共振器付マイクロ波プラズマ源と表面波プラズマ源／8.2 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ源／8.3 ヘリコン波を用いた高密度プラズマ源／練習問題
	第9章スパッタリングと直流マグネトロン放電
	9.1 スパッタリング／9.2 直流グロー放電によるスパッタリング／9.3 平板形直流マグネトロン放電スパッタ装置／練習問題
	第10章プラズマ計測
	10.1 静電プローブ計測／10.2 分光計測／10.3 干渉計測／練習問題
	第11章半導体プロセスへの応用
	11.1 集積回路製造における主なプラズマプロセス／11.2 プラズマプロセス／練習問題
	第12章プラズマの光源としての応用
	12.1 プラズマからの主な電磁波放射／12.2 プラズマからの電磁放射の応用／練習問題
	第13章核融合発電への応用
	13.1 発電への利用が期待されている核融合反応と放出エネルギー／13.2 ローソン条件／13.3 プラズマのトーラス磁界による閉じ込め／13.4 核融合炉の大きさの見積もり／練習問題
	第14章大気圧放電とその応用
	14.1 大気圧放電／14.2 大気圧放電の応用／練習問題
	第15章超粒子シミュレーション
	15.1 超粒子シミュレーション／15.2 超粒子シミュレーションの詳細／15.3 XPDP1プログラムを用いたプラズマ現象の解析例／練習問題