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1 0006813422図書一般549.1/ﾃﾝ05/書庫貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

プラズマイオンプロセスとその応用

人名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会／編
人名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版者・発行者 オーム社
出版年月 2005.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル プラズマイオンプロセスとその応用
タイトルヨミ プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
人名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会／編
人名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版者・発行者 オーム社
出版者・発行者等ヨミ オームシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2005.10
ページ数または枚数・巻数 11,279p
大きさ 22cm
価格 ￥４９００
ISBN 4-274-20123-6
注記 文献:章末
分類記号 549.1
件名 イオンビーム加工 ／ プラズマ物理学
内容紹介 プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術等の応用技術まで、平成13年からの調査研究をまとめる。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810796770



目次


内容細目

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