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1 0005605019図書一般549.8/ﾏｴ04/書庫貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

はじめての半導体ナノプロセス

人名 前田 和夫／著
人名ヨミ マエダ カズオ
出版者・発行者 工業調査会
出版年月 2004.2

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル はじめての半導体ナノプロセス
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ番号 32
タイトルヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
シリーズ名ヨミ ビギナーズ ブックス
シリーズ番号ヨミ 32
人名 前田 和夫／著
人名ヨミ マエダ カズオ
出版者・発行者 工業調査会
出版者・発行者等ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2004.2
ページ数または枚数・巻数 239p
大きさ 21cm
価格 ￥２２００
ISBN 4-7693-1225-3
分類記号 549.8
件名 半導体 ／ ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810541915



目次


内容細目

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