蔵書情報
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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0014896740 | 図書一般 | 566.7/カン19/ | 2F自然 | 貸出可 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
ドライプロセス表面処理大全 |
シリーズ名 |
技術大全シリーズ |
タイトルヨミ |
ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン |
シリーズ名ヨミ |
ギジュツ タイゼン シリーズ |
人名 |
関東学院大学材料・表面工学研究所/編
|
人名ヨミ |
カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ |
出版者・発行者 |
日刊工業新聞社
|
出版者・発行者等ヨミ |
ニッカン コウギョウ シンブンシャ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2019.3 |
ページ数または枚数・巻数 |
285p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥3000 |
ISBN |
978-4-526-07968-9 |
ISBN |
4-526-07968-9 |
注記 |
文献:p271〜276 |
分類記号 |
566.7
|
件名 |
金属表面処理
/
薄膜
|
内容紹介 |
真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。 |
言語区分 |
JPN |
タイトルコード |
1009812298312 |
目次
内容細目
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