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書誌情報サマリ

タイトル

プラズマプロセス技術

人名 プラズマ・核融合学会／編
人名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者・発行者 森北出版
出版年月 2017.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル プラズマプロセス技術
サブタイトル ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
タイトルヨミ プラズマ プロセス ギジュツ
サブタイトルヨミ ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー
人名 プラズマ・核融合学会／編
人名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者・発行者 森北出版
出版者・発行者等ヨミ モリキタ シュッパン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2017.1
ページ数または枚数・巻数 7,273p
大きさ 22cm
価格 ￥５６００
ISBN 978-4-627-77561-9
ISBN 4-627-77561-9
注記 文献:章末
分類記号 501.4
件名 材料科学 ／ プラズマ物理学
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009812088079



目次


内容細目

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