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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0013850581 | 図書一般 | 549.8/ニホ17/ | 書庫 | 貸出可 |
○ |
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書誌詳細
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書誌種別 |
図書 |
タイトル |
薄膜工学 |
タイトルヨミ |
ハクマク コウガク |
人名 |
日本学術振興会薄膜第131委員会/編集企画
金原 粲/監修
吉田 貞史/編著
近藤 高志/編著
|
人名ヨミ |
ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ キンバラ アキラ ヨシダ サダフミ コンドウ タカシ |
版次 |
第3版 |
出版者・発行者 |
丸善出版
|
出版者・発行者等ヨミ |
マルゼン シュッパン |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2016.11 |
ページ数または枚数・巻数 |
10,302p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥3800 |
ISBN |
978-4-621-30098-5 |
ISBN |
4-621-30098-5 |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
薄膜
|
内容紹介 |
薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。 |
言語区分 |
JPN |
タイトルコード |
1009812073076 |
目次
内容細目
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