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書誌情報サマリ

タイトル

ナノインプリント技術

人名 松井 真二／編著
人名ヨミ マツイ シンジ
出版者・発行者 電子情報通信学会
出版年月 2014.3

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル ナノインプリント技術
並列タイトル Nanoimprint Technology
タイトルヨミ ナノインプリント ギジュツ
人名 松井 真二／編著 　 平井 義彦／編著 　 電子情報通信学会／編
人名ヨミ マツイ シンジ　ヒライ ヨシヒコ　デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
出版者・発行者 電子情報通信学会
出版者・発行者等ヨミ デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2014.3
ページ数または枚数・巻数 10,265p
大きさ 21cm
価格 ￥４４００
ISBN 978-4-88552-285-7
ISBN 4-88552-285-7
分類記号 549
件名 ナノインプリント
内容紹介 ナノインプリントの基礎とともに、最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用、評価・測定技術、展望などをわかりやすく解説する。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811769048



目次


内容細目

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