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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0012322954 | 図書一般 | 501.4/ナカ14/ | 2F自然 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
触媒CVD<Cat‐CVD>の新展開
|
人名 |
中山 弘/監修
|
人名ヨミ |
ナカヤマ ヒロシ |
出版者・発行者 |
シーエムシー出版
|
出版年月 |
2013.11 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
触媒CVD<Cat‐CVD>の新展開 |
サブタイトル |
ラジカルを用いる新プロセス技術 |
並列タイトル |
Recent Developments of Catalytic CVD(Hot‐Wire CVD):A New Radical‐Based Processing Technology |
シリーズ名 |
エレクトロニクスシリーズ |
タイトルヨミ |
ショクバイ シーヴイディー キャット シーヴイディー ノ シンテンカイ |
サブタイトルヨミ |
ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ |
シリーズ名ヨミ |
エレクトロニクス シリーズ |
人名 |
中山 弘/監修
|
人名ヨミ |
ナカヤマ ヒロシ |
版 |
普及版 |
出版者・発行者 |
シーエムシー出版
|
出版者・発行者等ヨミ |
シーエムシー シュッパン |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2013.11 |
ページ数または枚数・巻数 |
5,276p |
大きさ |
26cm |
価格 |
¥4400 |
ISBN |
978-4-7813-0740-4 |
ISBN |
4-7813-0740-4 |
分類記号 |
501.4
|
件名 |
薄膜
/
触媒
|
内容紹介 |
表面科学、触媒化学、薄膜結晶成長、真空工学をベースに、Cat‐CVDの基礎から装置、材料、応用までを詳細に検討し、今後の実用化に向けた課題を示す。 |
言語区分 |
JPN |
タイトルコード |
1009811728381 |
目次
内容細目
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