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No.	資料番号	資料種別	請求記号	配架場所	状態	貸出
1	0011857539	図書一般	566.78/ﾋﾖ13/	2F自然	貸出可	○

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書誌情報サマリ

タイトル	ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
人名	表面技術協会／編
人名ヨミ	ヒョウメンギジュツキョウカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版年月	2013.5

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書
タイトル	ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
タイトルヨミ	ドライプロセスニヨルヒョウメンショリハクマクケイセイノキソ
人名	表面技術協会／編
人名ヨミ	ヒョウメンギジュツキョウカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版者・発行者等ヨミ	コロナシャ
出版地・発行地	東京
出版・発行年月	2013.5
ページ数または枚数・巻数	6,198p
大きさ	21cm
価格	￥２８００
ISBN	978-4-339-04631-1
ISBN	4-339-04631-1
注記	文献:p186〜195
分類記号	566.78
件名	めっき
内容紹介	ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
言語区分	JPN
タイトルコード	1009811668964
目次	1.ドライプロセスとプラズマ
	1.1 表面処理／1.2 ドライプロセスと真空／1.3 PVD,CVDとプラズマとのかかわり／1.4 まとめ
	2. 真空およびプラズマ
	2.1 真空／2.2 プラズマ／2.3 プラズマ診断
	3. ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成
	3.1 真空蒸着／3.2 イオンプレーティング／3.3 スパッタリング法／3.4 ドライエッチング／3.5 イオン注入法／3.6 CVD／3.7 プラズマ浸漬イオン注入／3.8 プラズマ窒化・浸炭
	4.分析と評価
	4.1 膜厚測定／4.2 表面分析／4.3 密着性評価／4.4 薄膜の内部応力／4.5 薄膜の摩擦・摩耗評価と硬度測定／4.6 ぬれ性・はっ水性評価