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1 0011524949図書一般549.8/ｼｹ12/2F自然貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

半導体プロセス・形状シミュレーション技術

人名 重里 有三／共著
人名ヨミ シゲサト ユウゾウ
出版者・発行者 オーム社
出版年月 2012.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 半導体プロセス・形状シミュレーション技術
サブタイトル 加工精度向上のツボ
タイトルヨミ ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ
サブタイトルヨミ カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
人名 重里 有三／共著 　 高木 茂行／共著
人名ヨミ シゲサト ユウゾウ　タカギ シゲユキ
出版者・発行者 オーム社
出版者・発行者等ヨミ オームシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2012.10
ページ数または枚数・巻数 10,220p
大きさ 21cm
価格 ￥３８００
ISBN 978-4-274-21274-1
ISBN 4-274-21274-1
注記 文献:章末
分類記号 549.8
件名 半導体 ／ シミュレーション
内容紹介 コスト競争の厳しい半導体産業では、プロセスの効率化やシミュレーション技術が重要。実際の研究開発に役立つ、半導体プロセスとシミュレーション技術を解説する。章末に演習問題も収録。
著者紹介 青山学院大学理工学部教授。博士(工学)。専門分野は物質科学、薄膜工学、プラズマ理工学。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811608163



目次


内容細目

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549.8　549.8
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