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1 0011452646図書一般549.8/ｺﾝ12/2F自然貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

半導体・MEMSのための超臨界流体

人名 近藤 英一／編著
人名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者・発行者 コロナ社
出版年月 2012.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 半導体・MEMSのための超臨界流体
タイトルヨミ ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
人名 近藤 英一／編著 　 上野 和良／共著 　 内田 寛／共著 　 曽根 正人／共著 　 生津 英夫／共著 　 服部 毅／共著 　 堀 照夫／共著 　 森口 誠／共著
人名ヨミ コンドウ エイイチ　ウエノ カズヨシ　ウチダ ヒロシ　ソネ マサト　ナマツ ヒデオ　ハットリ タケシ　ホリ テルオ　モリグチ マコト
出版者・発行者 コロナ社
出版者・発行者等ヨミ コロナシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2012.9
ページ数または枚数・巻数 7,227p
大きさ 21cm
価格 ￥３４００
ISBN 978-4-339-00837-1
ISBN 4-339-00837-1
注記 文献:p212〜222
分類記号 549.8
件名 半導体 ／ マイクロマシン ／ 超臨界流体
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
著者紹介 早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811590506



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内容細目

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