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書誌情報サマリ

タイトル

はじめての半導体ドライエッチング技術

人名 野尻 一男／著
人名ヨミ ノジリ カズオ
出版者・発行者 技術評論社
出版年月 2012.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術
シリーズ名 現場の即戦力
タイトルヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
シリーズ名ヨミ ゲンバ ノ ソクセンリョク
人名 野尻 一男／著
人名ヨミ ノジリ カズオ
出版者・発行者 技術評論社
出版者・発行者等ヨミ ギジュツ ヒョウロンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2012.1
ページ数または枚数・巻数 8,162p
大きさ 21cm
価格 ￥２２８０
ISBN 978-4-7741-4940-0
ISBN 4-7741-4940-0
注記 文献:章末
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
著者紹介 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811496036



目次


内容細目

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