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書誌情報サマリ

タイトル

薄膜工学

人名 金原 粲／監修
人名ヨミ キンバラ アキラ
出版者・発行者 丸善出版
出版年月 2011.6

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 薄膜工学
タイトルヨミ ハクマク コウガク
人名 金原 粲／監修 　 吉田 貞史／編著 　 近藤 高志／編著 　 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
人名ヨミ キンバラ アキラ　ヨシダ サダフミ　コンドウ タカシ　ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
版次 第2版
出版者・発行者 丸善出版
出版者・発行者等ヨミ マルゼン シュッパン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2011.6
ページ数または枚数・巻数 12,295p
大きさ 21cm
価格 ￥３８００
ISBN 978-4-621-08414-4
ISBN 4-621-08414-4
注記 初版:丸善 2003年刊
分類記号 549.8
件名 薄膜
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
言語区分 JPN
タイトルコード 1009811444565



目次


内容細目

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