書誌種別 |
図書 |
タイトル |
プラズマ工学 |
タイトルヨミ |
プラズマ コウガク |
人名 |
小越 澄雄/著
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人名ヨミ |
コゴシ スミオ |
出版者・発行者 |
電気書院
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出版者・発行者等ヨミ |
デンキ ショイン |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2010.9 |
ページ数または枚数・巻数 |
168p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥2400 |
ISBN |
978-4-485-30212-5 |
ISBN |
4-485-30212-5 |
注記 |
文献:p161〜164 |
分類記号 |
427.6
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件名 |
プラズマ物理学
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内容紹介 |
プラズマの定義から発生・維持、基本的な性質、拡散と密度分布、プラズマ発生装置、プラズマパラメータの計測法、超粒子シミュレーションまでを解説。章末に練習問題を付す。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009811336479 |
目次 |
第1章 プラズマとは |
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l.1 プラズマ研究の歴史/1.2 プラズマの定義/1.3 プラズマの応用例/l.4 本書の構成/練習問題 |
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第2章 プラズマの発生・維持 |
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2.1 放電開始/2.2 各種放電プラズマ/練習問題 |
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第3章 プラズマを記述する方程式とプラズマの特性 |
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3.1 マクスウェルの方程式とプラズマの特性/3.2 流体方程式とプラズマの導電率/練習問題 |
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第4章 プラズマ内の波 |
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4.1 波の分散関係の求め方/4.2 プラズマを記述する方程式の線形化/4.3 電子プラズマ波とイオン音波/練習問題 |
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第5章 拡散とプラズマ密度分布 |
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5.1 拡散係数/5.2 拡散方程式と定常状態での密度分布/5.3 密度分布の時間変化/練習問題 |
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第6章 プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源 |
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6.1 電子温度と密度の推定/6.2 容量結合形プラズマ源/練習問題 |
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第7章 誘導結合形プラズマ源 |
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7.1 誘導結合形プラズマ源/7.2 アンテナが容器上面に存在する誘導結合形プラズマ源/練習問題 |
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第8章 電磁波を用いた高密度プラズマ源 |
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8.1 TM波用共振器付マイクロ波プラズマ源と表面波プラズマ源/8.2 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ源/8.3 ヘリコン波を用いた高密度プラズマ源/練習問題 |
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第9章 スパッタリングと直流マグネトロン放電 |
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9.1 スパッタリング/9.2 直流グロー放電によるスパッタリング/9.3 平板形直流マグネトロン放電スパッタ装置/練習問題 |
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第10章 プラズマ計測 |
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10.1 静電プローブ計測/10.2 分光計測/10.3 干渉計測/練習問題 |
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第11章 半導体プロセスへの応用 |
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11.1 集積回路製造における主なプラズマプロセス/11.2 プラズマプロセス/練習問題 |
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第12章 プラズマの光源としての応用 |
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12.1 プラズマからの主な電磁波放射/12.2 プラズマからの電磁放射の応用/練習問題 |
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第13章 核融合発電への応用 |
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13.1 発電への利用が期待されている核融合反応と放出エネルギー/13.2 ローソン条件/13.3 プラズマのトーラス磁界による閉じ込め/13.4 核融合炉の大きさの見積もり/練習問題 |
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第14章 大気圧放電とその応用 |
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14.1 大気圧放電/14.2 大気圧放電の応用/練習問題 |
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第15章 超粒子シミュレーション |
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15.1 超粒子シミュレーション/15.2 超粒子シミュレーションの詳細/15.3 XPDP1プログラムを用いたプラズマ現象の解析例/練習問題 |