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1 0009570896図書一般427.6/ﾘﾊ10/2F自然貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

プラズマ/プロセスの原理

人名 Michael A.Lieberman／著
人名ヨミ Michael A Lieberman
出版者・発行者 丸善
出版年月 2010.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル プラズマ/プロセスの原理
タイトルヨミ プラズマ プロセス ノ ゲンリ
人名 Michael A.Lieberman／著 　 Allan J.Lichtenberg／著 　 堀 勝／監修 　 佐藤 久明／訳
人名ヨミ Michael A Lieberman　Allan J Lichtenberg　ホリ マサル　サトウ ヒサアキ
人名ヨミ 　
版次 第2版
出版者・発行者 丸善
出版者・発行者等ヨミ マルゼン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2010.1
ページ数または枚数・巻数 29,612p
大きさ 26cm
価格 ￥１８０００
ISBN 978-4-621-08223-2
ISBN 4-621-08223-2
注記 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing 原著第2版の翻訳
注記 初版:EDリサーチ社 2001年刊
注記 文献:p591〜604
分類記号 427.6
件名 プラズマ物理学
内容紹介 半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。
著者紹介 カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009811266965



目次


内容細目

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