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No.	資料番号	資料種別	請求記号	配架場所	状態	貸出
1	0008942849	図書一般	549.6/ﾊｸ08/	書庫	貸出可	○

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書誌情報サマリ

タイトル	薄膜トランジスタ
人名	薄膜材料デバイス研究会／編
人名ヨミ	ハクマクザイリョウデバイスケンキュウカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版年月	2008.11

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書
タイトル	薄膜トランジスタ
並列タイトル	Thin‐Film Transistor
タイトルヨミ	ハクマクトランジスタ
人名	薄膜材料デバイス研究会／編
人名ヨミ	ハクマクザイリョウデバイスケンキュウカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版者・発行者等ヨミ	コロナシャ
出版地・発行地	東京
出版・発行年月	2008.11
ページ数または枚数・巻数	8,229p
大きさ	21cm
価格	￥３０００
ISBN	978-4-339-00802-9
ISBN	4-339-00802-9
注記	文献:p215〜224
分類記号	549.6
件名	薄膜トランジスタ
内容紹介	近年発展目覚しい薄膜トランジスタ(TFT)について、概論および発展史から動作原理、作製技術、各種評価技術、劣化現象や信頼性評価技術、応用技術や将来技術に至るまで、広範囲な知識を系統的に解説する。
言語区分	jpn
タイトルコード	1009811127511
目次	1.序論
	1.1 薄膜トランジスタ(TFT)とはなにか／1.2 TFT発展の歴史
	2.TFTの動作原理
	2.1 基本的な動作原理／2.2 基礎知識／2.3 捕獲準位／2.4 より詳しい動作原理／2.5 種々のTFT
	3.TFT作製技術
	3.1 トップゲート構造およびボトムゲート構造／3.2 水素化非晶質シリコンTFT作製技術／3.3 多結晶シリコンTFT作製技術／3.4 有機TFT作製技術／3.5 酸化物TFT作製技術
	4.評価技術
	4.1 膜厚／4.2 構造評価／4.3 組成分析／4.4 光学評価／4.5 電気特性
	5.TFTの劣化現象と信頼性評価技術
	5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象／5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象／5.3 酸化物TFTにおける劣化現象
	6.TFTの応用技術
	6.1 TFTのディスプレイ応用／6.2 TFTのセンサ応用
	7.TFTの将来技術
	7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来／7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来