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No.	資料番号	資料種別	請求記号	配架場所	状態	貸出
1	0008602674	図書一般	427.6/ﾕｷ08/	2F自然	貸出可	○

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書誌情報サマリ

タイトル	放電プラズマ工学
人名	行村建／編著
人名ヨミ	ユキムラケン
出版者・発行者	オーム社
出版年月	2008.4

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書
タイトル	放電プラズマ工学
シリーズ名	EE Text
タイトルヨミ	ホウデンプラズマコウガク
シリーズ名ヨミ	イーイーテキスト
人名	行村建／編著
人名ヨミ	ユキムラケン
出版者・発行者	オーム社
出版者・発行者等ヨミ	オームシャ
出版地・発行地	東京
出版・発行年月	2008.4
ページ数または枚数・巻数	11,233p
大きさ	26cm
価格	￥３２００
ISBN	978-4-274-20526-2
ISBN	4-274-20526-2
注記	文献:p223〜227
分類記号	427.6
件名	プラズマ物理学／放電
内容紹介	プラズマを初めて学ぶ学生を対象に、プラズマの全体像、プラズマの挙動に関する物理、もたらされる応用を平易な用語でわかりやすく解説。独習用としても役立つよう、理論式の展開や生ずる現象の物理的な解釈もていねいに記述。
著者紹介	同志社大学大学院工学研究科電気工学専攻博士課程修了。工学博士。同志社大学工学部電気工学科教授。
言語区分	jpn
タイトルコード	1009811074488
目次	1章プラズマとは
	1・1 プラズマの発生と維持／1・2 プラズマの発生と性質／演習問題
	2章プラズマの発生形態と回路技術
	2・1 放電の形態／2・2 プラズマの生成／2・3 電源・回路技術／演習問題
	3章気体および荷電粒子の運動
	3・1 熱平衡と非熱平衡／3・2 粒子の分布／3・3 電離と励起／3・4 密度と温度／3・5 電子放出／3・6 プラズマの発生／3・7 電界中の運動／3・8 一様定常磁界中の運動／3・9 一様定常磁界と電界中の運動／3・10 水素原子の模型／演習問題
	4章プラズマの集団的性質とプラズマ計測
	4・1 プラズマの集団現象／4・2 イオンシースの形成／4・3 プラズマの計測／演習問題
	5章環境改善へのプラズマ応用
	5・1 環境問題とプラズマ／5・2 空気をきれいに／5・3 水をきれいに／5・4 資源を大切に／演習問題
	6章材料プロセスへのプラズマ応用
	6・1 集積回路について／6・2 微細構造の作製プロセス／6・3 プラズマ装置とプラズマの役割／6・4 プラズマに接した固体表面で何が起こるか／6・5 集積回路製造用プラズマ材料プロセスの具体例／6・6 まとめ／演習問題
	7章光源へのプラズマ応用
	7・1 プラズマによる発光／7・2 照明用光源／7・3 紫外線の応用／7・4 真空紫外の発生とその応用／演習問題
	8章熱プラズマ加工技術
	8・1 熱プラズマ加工技術について／8・2 熱プラズマとは／8・3 熱プラズマ成膜技術／8・4 熱プラズマ加工技術／演習問題