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書誌情報サマリ

タイトル

ナノテクノロジーとレジスト材料

人名 山岡 亞夫／監修
人名ヨミ ヤマオカ ツグオ
出版者・発行者 シーエムシー出版
出版年月 2007.4

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル ナノテクノロジーとレジスト材料
並列タイトル Nano Technology and Polymer Resist
シリーズ名 CMCテクニカルライブラリー
シリーズ番号 256
タイトルヨミ ナノテクノロジー ト レジスト ザイリョウ
シリーズ名ヨミ シーエムシー テクニカル ライブラリー
シリーズ番号ヨミ 256
人名 山岡 亞夫／監修
人名ヨミ ヤマオカ ツグオ
版 普及版
出版者・発行者 シーエムシー出版
出版者・発行者等ヨミ シーエムシー シュッパン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2007.4
ページ数または枚数・巻数 6,253p
大きさ 21cm
価格 ￥３６００
ISBN 978-4-88231-921-4
ISBN 4-88231-921-4
注記 初版のタイトル:新しいレジスト材料とナノテクノロジー
分類記号 549.7
件名 リソグラフィー ／ ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジーについて、トップダウンの技術とボトムアップ技術、およびこれらの中間に存在して、日常的に役立っているものについて取り上げる。また、それぞれの周辺の材料やプロセスに関して整理する。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810960314



目次


内容細目

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549.7　549.7
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