蔵書情報
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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0008034977 | 図書一般 | 549.8/キク07/ | 2F自然 | 貸出中 |
× |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
図解でわかる半導体製造装置 |
タイトルヨミ |
ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ |
人名 |
菊地 正典/監修
|
人名ヨミ |
キクチ マサノリ |
出版者・発行者 |
日本実業出版社
|
出版者・発行者等ヨミ |
ニホン ジツギョウ シュッパンシャ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2007.4 |
ページ数または枚数・巻数 |
182p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥1900 |
ISBN |
978-4-534-04217-0 |
ISBN |
4-534-04217-0 |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
半導体
|
内容紹介 |
「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009810959095 |
目次
内容細目
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