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書誌情報サマリ

タイトル

プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

人名 上條 榮治／監修
人名ヨミ カミジョウ エイジ
出版者・発行者 シーエムシー出版
出版年月 2007.3

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
並列タイトル Ion Beam and Plasma Process for Nanotechnology
シリーズ名 CMCテクニカルライブラリー
シリーズ番号 252
タイトルヨミ プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
シリーズ名ヨミ シーエムシー テクニカル ライブラリー
シリーズ番号ヨミ 252
人名 上條 榮治／監修
人名ヨミ カミジョウ エイジ
版 普及版
出版者・発行者 シーエムシー出版
出版者・発行者等ヨミ シーエムシー シュッパン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2007.3
ページ数または枚数・巻数 6,316p
大きさ 21cm
価格 ￥４４００
ISBN 978-4-88231-915-3
ISBN 4-88231-915-3
注記 初版のタイトル:プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
分類記号 549.1
件名 イオンビーム ／ プラズマ物理学 ／ ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジーの基盤技術としてのプラズマ・イオンビーム技術という観点から、プラズマ、イオンと固体物質の相互作用、各種装置および機能性材料の創成プロセスへの応用に重点を置き、研究の最先端を紹介。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810948451



目次


内容細目

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