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書誌情報サマリ

タイトル

クラスターイオンビーム基礎と応用

人名 山田 公／編著
人名ヨミ ヤマダ イサオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル クラスターイオンビーム基礎と応用
サブタイトル 次世代ナノ加工プロセス技術
タイトルヨミ クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ
サブタイトルヨミ ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
人名 山田 公／編著
人名ヨミ ヤマダ イサオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2006.10
ページ数または枚数・巻数 11,223p
大きさ 21cm
価格 ￥３２００
ISBN 4-526-05765-7
分類記号 549.1
件名 イオンビーム
内容紹介 クラスターイオンビーム技術は、数百から数千の原子の塊(クラスター)からなるイオンを高速で、固体の表面に衝突させて行う表面加工技術。その基礎現象とプロセス技術の応用例をふんだんに盛り込んだ一冊。
著者紹介 京都大学名誉教授。兵庫県立大学高度産業科学技術研究所客員教授。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810908026



目次


内容細目

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