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1 0007810427図書一般549.8/ﾆﾎ06/2F自然禁帯出  ×

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書誌情報サマリ

タイトル

半導体製造装置用語辞典

人名 日本半導体製造装置協会／編
人名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
人名 日本半導体製造装置協会／編
人名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
版次 第6版
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2006.9
ページ数または枚数・巻数 10,564p
大きさ 21cm
価格 ￥４７００
ISBN 4-526-05740-1
分類記号 549.8
件名 半導体-辞典
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810898660



目次


内容細目

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