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No.	資料番号	資料種別	請求記号	配架場所	状態	貸出
1	0007195357	図書一般	427.6/ﾌﾗ06/	書庫	貸出可	○

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書誌情報サマリ

タイトル	プラズマ診断の基礎と応用
人名	プラズマ・核融合学会／編
人名ヨミ	プラズマカクユウゴウガッカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版年月	2006.3

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書
タイトル	プラズマ診断の基礎と応用
タイトルヨミ	プラズマシンダンノキソトオウヨウ
人名	プラズマ・核融合学会／編
人名ヨミ	プラズマカクユウゴウガッカイ
出版者・発行者	コロナ社
出版者・発行者等ヨミ	コロナシャ
出版地・発行地	東京
出版・発行年月	2006.3
ページ数または枚数・巻数	10,377p
大きさ	22cm
価格	￥５７００
ISBN	4-339-00782-X
注記	文献:章末
分類記号	427.6
件名	プラズマ物理学
内容紹介	さまざまな分野においてプラズマを扱う研究者および技術者が、プラズマ計測に携わるうえで重要となる基礎原理から、新しい手法の開発の参考となるべく最新の装置技術を含めた実際の応用例までを解説する。
言語区分	jpn
タイトルコード	1009810834760
目次	1.プラズマの性質と計測
	1.1 プラズマの基本的性質／1.2 プラズマ計測のカテゴリーについて
	2.プローブ測定の原理と実際
	2.1 静電プローブ／2.2 高周波プローブ／2.3 磁気プローブ
	3.マイクロ波測定
	3.1 プラズマ中の電磁波伝搬／3.2 干渉法・反射法による電子密度測定／3.3 サイクロトロン放射による電子温度測定
	4.分光測定の基礎と応用
	4.1 プラズマ分光の原理／4.2 分光測定の実際／4.3 プロセスプラズマの分光測定／4.4 高温プラズマからの放射と分光測定
	5.レーザ測定の応用
	5.1 レーザ吸収法／5.2 レーザ干渉法／5.3 レーザトムソン散乱法／5.4 レーザ誘起蛍光法
	6.粒子測定の原理と実際
	6.1 粒子測定の原理／6.2 質量分析法によるイオン,中性粒子測定／6.3 高速中性粒子の計測
	7.ビームプローブ法の高温プラズマへの応用
	7.1 ビームプローブ法の原理／7.2 重イオンビームプローブ／7.3 ビームプローブ分光法／7.4 ビームプローブ・レーザ分光
	8.各種プロセスプラズマの実測例
	8.1 低誘電率薄膜のエッチングにおけるラジカル計測／8.2 大面積DLC膜,ダイヤモンド膜形成プラズマの測定／8.3 アモルファスシリコン薄膜堆積用プラズマの診断／8.4 高気圧マイクロプラズマの診断
	9.核融合プラズマ測定の実際
	9.1 電子温度計測／9.2 電子密度計測／9.3 イオン温度計測／9.4 プラズマ電位・回転計測／9.5 プラズマ内部磁場・電流分布計測／9.6 プラズマ揺動計測／9.7 核反応プラズマの計測