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1 0006822605図書一般549.8/ｺﾝ05/書庫貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

人名 近藤 英一／著
人名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者・発行者 共立出版
出版年月 2005.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
タイトルヨミ キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ
人名 近藤 英一／著
人名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者・発行者 共立出版
出版者・発行者等ヨミ キョウリツ シュッパン
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2005.10
ページ数または枚数・巻数 9,226p
大きさ 21cm
価格 ￥２８００
ISBN 4-320-08154-4
注記 文献:p213
分類記号 549.8
件名 薄膜 ／ ナノテクノロジー
内容紹介 気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
著者紹介 早稲田大学大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員などを経て山梨大学助教授。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810797483
目次 第1章 導入
第2章 真空と気体分子運動論
2.1 はじめに／2.2 真空と状態方程式／2.3 気体の圧力と内部エネルギー／2.4 全圧と分圧／2.5 気体分子速度の分布則／2.6 平均自由行程と衝突確率／2.7 真空中での気体の流れ／2.8 真空装置
第3章 プラズマの基礎
3.1 はじめに／3.2 プラズマとは／3.3 電子と気体分子との衝突過程／3.4 物体と接するプラズマの構造／3.5 プラズマ装置とプラズマ内部の現象
第4章 物理蒸着法(PVD)
4.1 はじめに／4.2 真空蒸着法／4.3 スパッタリング法
第5章 薄膜の形成過程
5.1 はじめに／5.2 薄膜の成長とその表面／5.3 核発生／5.4 薄膜組織の発達
第6章 エッチング
6.1 はじめに／6.2 エッチング加工の分類／6.3 ウェットエッチング／6.4 物理的ドライエッチング／6.5 化学的ドライエッチング／6.6 物理的+化学的ドライエッチング
第7章 フォトリソグラフィ
7.1 はじめに／7.2 フォトリソグラフィの概要／7.3 フォトレジスト工程／7.4 フォトマスク／7.5 露光
付録A 基礎定数表と真空の単位
付録B 材料の科学についてのノート
B.1 原子の構造と化学結合／B.2 結晶形と結晶方位／B.3 拡散／B.4 平衡／B.5 反応速度論
付録C 分布関数とマックスウェル-ボルツマン分布
C.1 分布関数の性質／C.2 マックスウェル-ボルツマン分布
付録D 対数目盛と対数グラフ
D.1 片対数グラフ／D.2 両対数グラフ／D.3 方眼紙で対数グラフはつくれるか?



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