蔵書情報
この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。
資料の状態
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0006813349 | 図書一般 | 501.22/フシ05/ | 書庫 | 貸出可 |
○ |
この資料に対する操作
カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。
いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。
この資料に対する操作
電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。
書誌情報サマリ
タイトル |
センサ・マイクロマシン工学
|
人名 |
藤田 博之/編著
|
人名ヨミ |
フジタ ヒロユキ |
出版者・発行者 |
オーム社
|
出版年月 |
2005.10 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
センサ・マイクロマシン工学 |
シリーズ名 |
EE text |
タイトルヨミ |
センサ マイクロマシン コウガク |
シリーズ名ヨミ |
イーイー テキスト |
人名 |
藤田 博之/編著
|
人名ヨミ |
フジタ ヒロユキ |
出版者・発行者 |
オーム社
|
出版者・発行者等ヨミ |
オームシャ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2005.10 |
ページ数または枚数・巻数 |
8,209p |
大きさ |
26cm |
価格 |
¥3200 |
ISBN |
4-274-20134-1 |
注記 |
文献:p199〜204 |
分類記号 |
501.22
|
件名 |
センサ
/
マイクロマシン
|
内容紹介 |
センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。 |
著者紹介 |
東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。工学博士。東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009810794247 |
目次 |
1章 本書の構成と使い方 |
|
1・1 センサとマイクロマシン/1・2 身の回りにあるセンサ/1・3 新たに発展するマイクロマシン/1・4 本書の構成と利用法 |
|
2章 センサ・マイクロマシンの概要 |
|
2・1 センサ・マイクロマシンとは/2・2 半導体マイクロマシニング/2・3 マイクロマシニングの応用/2・4 センサ・マイクロマシン構成要素とその動作原理/2・5 設計から性能評価まで/2・6 センサ・マイクロマシン技術の特徴と意義/2・7 今後の課題とMEMSの学び方 |
|
3章 微細構造製作プロセス技術 |
|
3・1 フォトリソグラフィ技術/3・2 材料除去加工技術/3・3 材料付加加工技術/3・4 3次元構造の製作(マイクロマシニング) |
|
4章 物理センサ |
|
4・1 物理センサの原理と計測対象/4・2 磁気センサ/4・3 温度センサ/4・4 光センサ/4・5 機械量センサ/4・6 物理センサの今後の展開 |
|
5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン |
|
5・1 マイクロアクチュエータとは/5・2 マイクロアクチュエータの動作原理/5・3 マイクロアクチュエータの設計/5・4 マイクロアクチュエータの応用とマイクロマシン |
|
6章 化学センサとマイクロ化学システム |
|
6・1 化学センサの原理と計測対象/6・2 ガスセンサ/6・3 イオンセンサ/6・4 バイオセンサ/6・5 感性化学センサ/6・6 マイクロ化学システム/6・7 化学センサの今後の展開 |
目次
内容細目
関連資料
この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。
もどる