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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0006697940 | 図書一般 | 549.8/イチ05/ | 2F自然 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
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人名 |
市村 博司/著
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人名ヨミ |
イチムラ ヒロシ |
出版者・発行者 |
日刊工業新聞社
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出版年月 |
2005.2 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 |
タイトルヨミ |
プラズマ プロセス ニ ヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ |
人名 |
市村 博司/著
池永 勝/著
|
人名ヨミ |
イチムラ ヒロシ イケナガ マサル |
出版者・発行者 |
日刊工業新聞社
|
出版者・発行者等ヨミ |
ニッカン コウギョウ シンブンシャ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2005.2 |
ページ数または枚数・巻数 |
9,276p |
大きさ |
21cm |
価格 |
¥3200 |
ISBN |
4-526-05420-8 |
注記 |
文献:章末 |
分類記号 |
549.8
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件名 |
薄膜
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内容紹介 |
材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。 |
著者紹介 |
1941年東京生まれ。東京工業大学大学院博士課程修了。神奈川工科大学客員教授。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009810726565 |
目次
内容細目
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