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書誌情報サマリ

タイトル

イオン工学ハンドブック

人名 水野 博之／監修
人名ヨミ ミズノ ヒロユキ
出版者・発行者 イオン工学研究所
出版年月 2004.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル イオン工学ハンドブック
サブタイトル ナノテクノロジーへの道を拓く／薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
タイトルヨミ イオン コウガク ハンドブック
サブタイトルヨミ ナノテクノロジー エノ ミチ オ ヒラク／ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロマシン トウ
人名 水野 博之／監修 　 平尾 孝／編集委員長
人名ヨミ ミズノ ヒロユキ　ヒラオ タカシ
出版者・発行者 イオン工学研究所 ／ 日刊工業新聞社(発売)
出版者・発行者等ヨミ イオン コウガク ケンキュウジョ／ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 枚方／東京
出版・発行年月 2004.10
ページ数または枚数・巻数 1126p
大きさ 27cm
価格 ￥６８０００
ISBN 4-526-05380-5
分類記号 549.1
件名 イオンビーム-便覧
内容紹介 次世代半導体デバイスや液晶ディスプレイ等に必要不可欠なイオン注入、生体材料等に応用される表面改質、イオンビームミキシング、三次元加工技術等を包含し、イオン工学の基礎から具体的な材料やデバイスの適用事例を詳説。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810617497



目次


内容細目

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