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書誌情報サマリ

タイトル

トコトンやさしい超微細加工の本

人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
シリーズ名 B&Tブックス
シリーズ名 今日からモノ知りシリーズ
タイトルヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン
シリーズ名ヨミ ビー アンド ティー ブックス
シリーズ名ヨミ キョウ カラ モノシリ シリーズ
人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2004.1
ページ数または枚数・巻数 159p
大きさ 21cm
価格 ￥１４００
ISBN 4-526-05226-4
分類記号 549
件名 電子工学 ／ ナノテクノロジー
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810538249



目次


内容細目

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