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資料の状態
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No. |
資料番号 |
資料種別 |
請求記号 |
配架場所 |
状態 |
貸出
|
1 |
0005161328 | 図書一般 | 549.8/イチ03/ | 書庫 | 貸出可 |
○ |
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書誌情報サマリ
タイトル |
プラズマ半導体プロセス工学
|
人名 |
市川 幸美/共著
|
人名ヨミ |
イチカワ ユキミ |
出版者・発行者 |
内田老鶴圃
|
出版年月 |
2003.7 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書 |
タイトル |
プラズマ半導体プロセス工学 |
サブタイトル |
成膜とエッチング入門 |
タイトルヨミ |
プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク |
サブタイトルヨミ |
セイマク ト エッチング ニュウモン |
人名 |
市川 幸美/共著
佐々木 敏明/共著
堤井 信力/共著
|
人名ヨミ |
イチカワ ユキミ ササキ トシアキ テイイ シンリキ |
出版者・発行者 |
内田老鶴圃
|
出版者・発行者等ヨミ |
ウチダ ロウカクホ |
出版地・発行地 |
東京 |
出版・発行年月 |
2003.7 |
ページ数または枚数・巻数 |
289p |
大きさ |
22cm |
価格 |
¥4000 |
ISBN |
4-7536-5048-0 |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
半導体
/
プラズマ物理学
|
内容紹介 |
プラズマプロセスの基礎を学ぼうとする大学生や大学院生、あるいは企業や研究機関において半導体プロセスに携わる開発者や研究者を対象に、プラズマCVDとエッチング技術の基礎を整理、解説する。 |
言語区分 |
jpn |
タイトルコード |
1009810487427 |
目次
内容細目
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