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書誌情報サマリ

タイトル

真空ハンドブック

人名 アルバック／編
人名ヨミ アルバック
出版者・発行者 オーム社
出版年月 2002.7

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 真空ハンドブック
タイトルヨミ シンクウ ハンドブック
人名 アルバック／編
人名ヨミ アルバック
版次 新版
出版者・発行者 オーム社
出版者・発行者等ヨミ オームシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2002.7
ページ数または枚数・巻数 331p
大きさ 27cm
価格 ￥９５００
ISBN 4-274-08727-1
注記 付:表(4枚)
分類記号 534.93
件名 真空技術-便覧
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810381698



目次


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