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1 0005492384図書一般549.8/ｴﾝ03/書庫貸出可  ○

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書誌情報サマリ

タイトル

はじめての半導体製造材料

人名 遠藤 伸裕／著
人名ヨミ エンドウ ノブヒロ
出版者・発行者 工業調査会
出版年月 2002.4

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル はじめての半導体製造材料
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ番号 24
タイトルヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ザイリョウ
シリーズ名ヨミ ビギナーズ ブックス
シリーズ番号ヨミ 24
人名 遠藤 伸裕／著 　 小林 伸好／著 　 若宮 亙／著
人名ヨミ エンドウ ノブヒロ　コバヤシ ノブヨシ　ワカミヤ ワタル
出版者・発行者 工業調査会
出版者・発行者等ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2002.4
ページ数または枚数・巻数 190p
大きさ 21cm
価格 ￥２０００
ISBN 4-7693-1210-5
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 現在のシリコン半導体製造プロセスでは、実に様々な材料が使用されている。これら半導体製造材料を構造とプロセスにそって解説。材料名の羅列を避け、初心者向けに、半導体材料の物理的イメージに主眼をおいてまとめる。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810358571



目次


内容細目

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