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書誌情報サマリ

タイトル

超微細加工の基礎

人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版年月 2001.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 超微細加工の基礎
サブタイトル 電子デバイスプロセス技術
タイトルヨミ チョウビサイ カコウ ノ キソ
サブタイトルヨミ デンシ デバイス プロセス ギジュツ
人名 麻蒔 立男／著
人名ヨミ アサマキ タツオ
版次 第2版
出版者・発行者 日刊工業新聞社
出版者・発行者等ヨミ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2001.9
ページ数または枚数・巻数 295p
大きさ 21cm
価格 ￥３９００
ISBN 4-526-04812-7
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電アネルバ(株)取締役、東京理科大学教授等を務めた。著書に「真空のはなし」「やさしい電気磁気学」など。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810298072



目次


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