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書誌情報サマリ

タイトル

荷電粒子ビーム工学

人名 石川 順三／著
人名ヨミ イシカワ ジュンゾウ
出版者・発行者 コロナ社
出版年月 2001.5

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書
タイトル 荷電粒子ビーム工学
タイトルヨミ カデン リュウシ ビーム コウガク
人名 石川 順三／著
人名ヨミ イシカワ ジュンゾウ
出版者・発行者 コロナ社
出版者・発行者等ヨミ コロナシャ
出版地・発行地 東京
出版・発行年月 2001.5
ページ数または枚数・巻数 302p
大きさ 21cm
価格 ￥４０００
ISBN 4-339-00734-X
分類記号 549.1
件名 電子線 ／ イオンビーム
内容紹介 電子およびイオンの荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作と、それらを用いた材料プロセス、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的記述を加えつつ、電子およびイオンビーム技術の基本となる基礎現象の物理的意味を平易に解説。
著者紹介 京都大学大学院電気工学第二専攻修士課程修了。工学博士。同大学教授。
言語区分 jpn
タイトルコード 1009810261606



目次


内容細目

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